產(chǎn)品詳情
俄歇電子能譜儀 AES
上海伯東代理 ULVAC-PHI 俄歇電子能譜儀 PHI 710 適用于半導(dǎo)體器件, 微電子器件和材料科學(xué)等研究. SEM 像空間分辨率 ≤3 nm, AES 成分像空間分辨率 ≦8nm.
俄歇電子能譜儀 PHI 710 基本參數(shù)
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SEM 像空間分辨率( 25kV ) |
≤3 nm |
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AES 空間分辨率( 20kV 1nA) |
≦ 8nm |
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靈敏度 |
900 kcps ( CuLMM ) @ 10 kV, 10 nA |
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SEM 放大倍率 |
x45 (加速電壓:3kV) 至 x 1,000,000 |
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樣品臺可變動范圍 |
X,Y 軸各±25 mm |
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離子槍加速電壓 |
0 至 5 kV 可變 |
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離子槍光柵面積 |
最大 4 mm x 4mm |
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極限真空 |
6.7 x10-8 Pa 以下 |
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重量 |
主機(jī)重量 1,100 kg, 電子控制柜重量 250 kg, 隔音罩重量 820 kg |
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電力 |
200-230V 交流, 單相 50A, 50/60Hz |
選配: 6個樣本泊放裝置, 樣品冷卻斷裂裝置, EBSD, 背散射電子探測器, 能量色散譜儀 (EDS) 等
俄歇電子能譜儀 PHI 710 特性
1.使用 CMA 同軸分析器, 同時實(shí)現(xiàn)高靈敏度和高傳輸率. 即使在低電流高空間分辨率情況下, 都可輕松的進(jìn)行分析.
2. 以 20kV 加速電壓和電流 1nA 進(jìn)行俄歇分析, AES 空間分辨率可達(dá) ≦8nm.
3. 在擁有所有 CMA 優(yōu)點(diǎn)的同時, 并結(jié)合獲得 AVS (美國真空協(xié)會) 設(shè)計(jì)獎的高能量分辨率功能, AES 可以進(jìn)行各種納米級區(qū)域的化學(xué)態(tài)分析.
4. Windows 兼容的簡易操作和功能強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理軟件
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俄歇分析通過 SEM 觀察確定分析位置, 再進(jìn)行采譜, 成分分布成像和深度剖析. 在 SEM 觀察時需要細(xì)小的聚焦電子束斑, 同時進(jìn)行俄歇分析, 需要非常穩(wěn)定的電子束. |
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俄歇電子能譜儀 PHI 710 應(yīng)用案例
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比較分析形態(tài)復(fù)雜的樣本 |
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什么是俄歇電子能譜儀 AES
AES (Auger Electron Spectroscopy) 是利用電子束電離激發(fā)原子內(nèi)層電子, 探測退激發(fā)過程出射的俄歇電子, 獲得樣品表面的組成及化學(xué)性質(zhì)的分析方法. AES 不僅表面靈敏, 而且具有納米級的空間分辨率, 因此廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件, 微電子器件和材料科學(xué)等研究.
若您需要進(jìn)一步的了解 俄歇電子能譜儀 PHI 710 詳細(xì)信息或討論
請聯(lián)絡(luò)上海伯東: 葉女士 13918837267 ( 微信同號 )
